ALCATEL分子泵是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個工藝。分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。確認(rèn)安裝環(huán)境必須滿足如下條件：